Kapacitní tlakový senzor je druh tlakového senzoru, který využívá kapacitu jako citlivý prvek k převodu naměřeného tlaku na změnu hodnoty kapacity.Tento druh tlakového senzoru obecně používá kulatý kovový film nebo pozlacený film jako elektrodu kondenzátoru, když film cítí tlak a deformuje se, kapacita vytvořená mezi filmem a pevnou elektrodou se mění a elektrický signál může být výstup s určitým vztahem mezi napětím přes měřicí obvod.
Kapacitní snímač tlaku patří ke kapacitnímu snímači změny polární vzdálenosti, který lze rozdělit na jeden kapacitní snímač tlaku a diferenciální kapacitní snímač tlaku.
Jednokapacitní snímač tlaku se skládá z kruhové fólie a pevné elektrody.Fólie se působením tlaku deformuje, čímž se mění kapacita kondenzátoru a její citlivost je zhruba úměrná ploše a tlaku fólie a nepřímo úměrná napětí fólie a vzdálenosti fólie od pevné elektrody. .Druhý typ pevné elektrody je konkávního kulového tvaru a membrána je napínací rovina upevněná kolem obvodu.Membrána může být vyrobena metodou plastového zlacení.Tento typ je vhodný pro měření nízkého tlaku a má vysokou přetížitelnost.Jediný kapacitní snímač tlaku může být také vyroben z membrány s pohyblivým pólem pístu pro měření vysokého tlaku.Tento typ snižuje přímou kompresní plochu membrány, takže pro zlepšení citlivosti lze použít tenčí membránu.Je také integrován s různými kompenzačními a ochrannými sekcemi a zesilovacími obvody pro zlepšení schopnosti proti rušení.Tento snímač je vhodný pro dynamické vysokotlaké měření a telemetrii letadel.Jednokapacitní tlakové snímače jsou k dispozici také v provedení s mikrofonem (tj. typ mikrofonu) a typu stetoskop.
Elektroda tlakové membrány diferenčního kapacitního tlakového snímače je umístěna mezi dvěma pevnými elektrodami, aby vytvořily dva kondenzátory.Působením tlaku se kapacita jednoho kondenzátoru zvyšuje a druhého odpovídajícím způsobem snižuje a výsledek měření je vydáván diferenciálním obvodem.Jeho pevná elektroda je vyrobena z pozlacené vrstvy na konkávně zakřivené skleněné ploše.Membrána je při přetížení chráněna před protržením konkávním povrchem.Diferenční kapacitní tlakové senzory mají vyšší citlivost a lepší linearitu než jednokapacitní tlakové senzory, ale jsou náročnější na zpracování (zejména z důvodu zajištění symetrie) a nelze s nimi dosáhnout izolace měřeného plynu nebo kapaliny, proto nejsou vhodné. pro práci v kapalinách s korozivními nebo nečistotami.
Čas odeslání: 19. června 2023